에스엔유프리시젼(080000)은 진공증착장비에 관한 특허권을 취득했다고 18일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 증착장비에서 방출된 소스가 증착장비를 손상시키는 것을 기술적으로 제어하여 장시간 연속공정을 가능하게 하는 방법”이라고 설명했다.

또한 두께 또는 표면형상 측정방법에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 박막의 두께 및 표면형상을 측정하는 기술로써 박막층에 입사되는 간섭신호를 획득하여 이미 저장된 샘플신호와 비교하여 박막의 두께 및 형상을 측정하는 기술”이라고 설명했다.

이 특허들은 OLED 및 태양광용 제조장비에 활용할 계획이라고 밝혔다.

에스엔유프리시젼은 18일 1550원(8.27%) 오른 2만300원으로 마감되었다.