테스(095610)는 플라즈마 발생용 전극 및 이를 포함하는 플라즈마 발생장치에 관한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 전자의 이용을 용이하게 하고, 플라즈마의 확산을 촉진하여 전체적으로 균일한 플라즈마 분포를 구현할 수 있으며 증착 균일도를 향상시킬 수 있다”고 설명했다.

테스는 7일 14시 12분 현재 전일과 보합인 1만6000원에 거래되고 있다.