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<생생코스닥>테스, 인라인 기판 처리시스템 및 공정챔버 특허권 취득
생생코스닥
|
2011-07-05 16:14
테스(095610)는 인라인 기판 처리시스템 및 공정챔버에 관한 특허권을 취득 했다고 5일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 종래의 태양전지 제조시스템과 동일한 공정을 수행하면서도 기판의 이송거리를 감소시켜 택타임을 줄임으로써 생산성이 증대된다는 장점이 있다”고 설명했다.
테스는 5일 14시 25분 현재 100원(-0.63%) 떨어진 1만5850원에 거래되고 있다.
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