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<생생코스닥>주성엔지니어링, 플라즈마 처리장치 특허권 취득
생생코스닥
|
2011-10-10 15:43
주성엔지니어링(036930)은 플라즈마 처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 10일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 플라즈마 밀도의 좌우 대칭성을 향상시킨 플라즈마 처리장치에 관한 것”이라고 설명했다.
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