테스(095610)는 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 19일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 복수의 배기공이 선택적으로 개방됨으로써 배기 방향이 조절 가능하게 되어 공정 균일도를 향상시킬 수 있다”고 설명했다.

테스는 19일 14시 38분 현재 100원(0.61%) 오른 1만6600원에 거래되고 있다.