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<생생코스닥>원익IPS, 샤워헤드 및 이를 이용한 기판처리장치 특허권 취득
생생코스닥
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2011-10-10 14:26
원익IPS(030530)는 샤워헤드 및 이를 이용한 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 10일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 반도체 제조 장치 내부를 세정하기 위한 세정가스 공급 수단이며 향후 생산성을 높이기 위해 당사 반도체 장비 적용 예정”이라고 설명했다.
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