주성엔지니어링(036930)은 플라즈마 처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 10일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 플라즈마 밀도의 좌우 대칭성을 향상시킨 플라즈마 처리장치에 관한 것”이라고 설명했다.