테스(095610)는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 특허권을 취득했다고 25일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 배기 압력 분포를 공정 중단없이 용이하게 조절할 수 있을 뿐만 아니라, 막 균일도의 저하를 미연에 방지할 수 있다”고 설명했다.