테스(095610)는 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 26일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 셔터내 히팅모듈의 가열에 의해 셔터에 반응가스의 입자가 달라붙거나 하여 발생되는 오작동을 방지할 수 있다”고 설명했다.