[헤럴드경제 = 박영훈 기자] 웨이퍼 캐리어 양산업체 ㈜삼에스코리아(3S)는 ‘웨이퍼 수납 용기 및 그 제조 방법’ 특허권을 취득했다고 14일 공시했다.

이 특허를 이용한 제품은 웨이퍼 캐리어 중에서도 대전방지 목적의 특수용 웨이퍼 캐리어인 S-FOUP에 적용이 되고 있으며 물론 3S에서 생산중인 FOSB(완성된 웨이퍼를 웨이퍼사에서 반도체사로 수송하는데 이용되는 클린진공박스)와 FOUP(반도체사 내 공정간 웨이퍼 이송용기), O/C(웨이퍼 제조공장용 웨이퍼 이송용기) 등에도 적용될 것이라고 한다.

3S 관계자는 “특허 기술을 이용할 경우 웨이퍼의 손상 및 오염을 기존보다 강력하게 방지될 것이며, 제조 공정의 간소화가 가능해져 제조 비용을 절감할 수 있을 것”이라며 “이를 통해 품질경쟁력, 가격경쟁력을 동시에 높이는 효과를 가져올 것으로 예상된다. 또한 매출 향상에도 기여할 것”으로 기대했다.

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