참엔지니어링은 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법에 관한 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.

회사측은 “이번 특허 기술은 반도체생산 관련 장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 밝혔다.