"불화수소 품질 평가 돕자"…표준연, 국산화 R&D 지원 나서

[헤럴드경제=이정아 기자] 한국표준과학연구원이 일본 수출규제와 관련한 소재·부품·장비 등에 대한 시험 및 성능 평가 서비스를 요청하면 최우선적으로 처리하는 패스트트랙 운영에 나선다.

8일 한국표준과학연구원은 컨트롤타워로 ‘일본 수출규제 적극대응 위원회’를 설치해 범국가적 대응에 참여하겠다고 8일 밝혔다. 조성재 표준연 부원장이 위원장을 맡았다.

위원회는 표준연의 측정 기술을 활용해 ▷교정·시험서비스 패스트트랙 운영 ▷불화수소 등 반도체 공정가스 품질평가 지원체계 마련 ▷반도체 및 첨단소재 신뢰성 평가 플랫폼 운영 ▷웨이퍼 불순물 측정분석장비 국산화를 위한 원천기술 및 장비화 기술개발 연구기획 등 4가지 분야에 대한 체계적인 지원에 나서기로 했다.

우선 표준연은 한국 기업이 일본 수출규제 관련 소재·부품·장비 등에 대한 교정과 시험 및 성능평가 서비스를 요청하면 최우선적으로 처리하는 교정 및 시험서비스 패스트트랙을 운영한다.

또 일본의 3대 규제 품목 중 하나인 불화수소의 순도평가를 99.9999% 수준까지 하는 기반을 6개월 내에 마련하기로 했다.

일본 수출규제와 관련해 반도체와 첨단소재에 대한 물성과 신뢰성평가, 기술자문을 모두 원스톱으로 제공하는 신뢰성 평가 플랫폼도 운영한다.

이밖에도 국산화율이 30% 수준에 머물러 있는 웨이퍼 불순물 측정분석장비 등 반도체 공정용 측정분석장비를 국산화할 기술을 개발하기로 했다.

박상열 표준연 원장은 “현 상황을 고려했을 때 기존 연구와 서비스는 보류해도 일본 수출규제 문제 해결에 집중할 필요가 있다”며 “기관차원의 대응체계를 통해 종합적인 대책을 마련해 이번 사태에 대한 정부출연연구원으로써 역할에 충실하겠다”고 말했다.

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