국내 기술로 개발한 반도체 공정 자동화 시스템이 해외 수출에 성공했다.

18일 충남테크노파크(원장 윤종언·이하 충남TP)에 따르면 ‘SW 융합제품 상용화 사업’ 지원기업인 ㈜파모스(대표 정애용)가 반도체·디스플레이 후공정 상황인식 소프트웨어와 모바일 모니터링 시스템 개발에 성공했다.

이 시스템은 반도체 생산시 투입되는 장비, 인력, 재료, 제품, 공정 등의 데이터를 종합적으로 분석해 반도체의 품질과 생산성 수율(투입 수 대비 완성된 양품의 비율)을 높여주는 기술이다.

파모스는 이같은 기술력을 바탕으로 올해 초 ‘반도체 생산성 향상 공정 자동화기술’과 관련한 해외 특허 4건을 등록하고 1건을 출원했다.

파모스는 최근 충남TP의 상용화 지원사업을 통해 200만 달러 규모의 첫 해외 수출 성과를 내기도 했다.

파모스 정애용 대표는 “지난 23년간 반도체 공정 및 소프트웨어 엔지니어로 일한 경력을 바탕으로 2016년 창업 후 반도체 후공정 자동화 시스템 개발에 집중해왔다”며 “18%대인 국내 반도체 생산 소프트웨어 기술의 국산화율을 높여 국내 산업 발전에 기여하고 있다”고 말했다.

한편 ‘SW 융합제품 상용화 사업’은 과학기술정통부와 충청남도의 지원으로 정보통신산업진흥원(NIPA)이 진행하고 있다.