나노종합기술원, 중소기업 나노·반도체 지원 성과 풍성

[헤럴드경제=구본혁 기자] 나노종합기술원은 14일 과학기술정보통신부의 지원을 받아 수행한 출연사업에 대한 ‘나노반도체 지원 성과보고회’를 개최한다.

이날 행사에서 기술원은 국내 반도체 소부장 중소·중견 기업과의 공동개발을 통한 실용화 성과와 추진계획을 공유하고, 기술원의 반도체 테스트베드 활성화를 위한 공공팹 운영 컨설팅 지원과 12인치 반도체 장비의 기술원 이전에 큰 도움을 준 ㈜삼성전자(DS부문) 상생협력센터에 감사패를 수여한다.

이날 행사는 차세대지능형반도체사업단 김형준 단장의 기조연설을 시작으로, 기술원 중점사업 소개 및 성과, 참여기업의 공동 개발결과와 실용화 성과, 동반성장 업무협약(4개사) 및 상생협력 시상 순으로 진행된다.

기술원은 반도체 테스트베드를 활용한 기술 실용화 지원을 위한 주요사업인 ▷테스트베드 소재부품장비 공동기술개발 사업 ▷나노 오픈 이노베이션 랩 협력사업 ▷반도체 공정기반 나노메디컬 디바이스 개발 사업 등에 대한 소개와 주요성과를 발표한다.

공동개발 기업인 SK머티리얼즈퍼포먼스는 12인치 반도체 테스트베드를 활용한 반도체 핵심소재 감광제 개발, 앨로힘은 고용량 초소형 실리콘 캐퍼시터 개발, 케이런은 반도체 공정 기술을 활용한 유전자 전달 나노입자 제조 시스템 개발성과를 각각 발표한다.

특히 기술원은 ‘반도체-마이크로 전고체 배터리 플랫폼 개발사업’ 추진계획을 발표한다.

미래 배터리 초격차 기술 확보를 위해 과기정통부의 지원을 받아 반도체 공정(8인치) 기반 전고체 배터리 플랫폼 기술개발을 추진할 계획으로 이에 대한 상세 개발계획을 최초로 공식 발표한다.

박흥수 나노종합기술원 원장은 “기술원은 국가 핵심 나노인프라로 원천기술 연구개발 지원과 연구성과의 상용화를 지원하는 서비스 프로바이더 역할을 강화해 나갈 것”이라며 “반도체, 첨단바이오 등 국가 전략기술 경쟁력 확보를 위한 핵심 거점기관으로 발돋움하기 위해 산학연 고객의 다양한 의견을 반영해 나갈 계획”이라고 밝혔다.