비아이이엠티는 사파이어 웨이퍼 및 잉곳 폴리싱 장치에 관한 특허권을 취득했다고 15일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 사파이어 웨이퍼의 내부 불량검사 및 사파이어 잉곳의 내부 결함 분석을 위해 웨이퍼 및 잉곳의 양면에 대한 폴리싱 작업을 하나의 장비에서 수행하여 사파이어 잉곳의 내부 품질 평가에 활용할 계획”이라고 밝혔다.
특허권자는 비아이이엠티, 비아이신소재 이다.
test10043@heraldcorp.com
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