테스(095610)는 대면적 가스분사장치에 관한 특허권을 취득했다고 18일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 반응가스를 균일하게 확산시킬 수 있고 챔버 내 중심부와 가장자리부에서의 균일한 플라즈마를 발생시킬 수 있다”고 설명했다.

테스는 18일 14시 11분 현재 320원(-3.72%) 떨어진 8280원에 거래되고 있다.


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