에스엔유프리시젼(080000)은 반사도분포곡선의 모델링방법 및 이를 이용하는 두께 측정방법, 두께 측정 반사계에 관한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 LCD, 반도체 분야에서 많이 사용되는 투명 박막층의 두께를 모니터링해 후공정 수율을 높이는데 사용된다”고 설명했다.


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