원익IPS(030530)는 샤워헤드 어셈블리 및 이를 구비한 기판 처리 장치에 관한 특허권을 취득했다고 18일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 진공 챔버 내부의 플라즈마 밀도를 향상시키기 위한 부재를 갖는 기판 처리 장치”라고 설명했다.


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