주성엔지니어링(036930)은 원격 플라즈마를 이용한 챔버 세정방법에 관한 특허권을 취득했다고 17일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 제조장비가 대형화되더라도 챔버 내부를 효과적으로 세정할 수 있다”고 설명했다.


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