원익IPS(030530)는 가스분사장치 및 이를 이용한 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 18일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 원자층 증착 장치에서 가스를 균일하게 공급할 수 있는 가스 공급부 관련 기술”이라고 설명했다.


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