테스(095610)는 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.

회사측은 “이번 특허로 기판처리장치가 적용된 식각장치, 증착장치 및 태양전지 제조장치에서는 식각부산물 또는 파티클이 챔버를 오염시키는 것을 효과적으로 방지할 수 있다”고 설명했다.


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