테스(095610)는 기판처리장치의 히터 가열장치에 관한 특허권을 취득했다고 10일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 히터 하단부에 가해지는 복사열의 조사각도를 조절하여 히터를 부분적으로 가열함으로써, 온도 보상 및 히터의 온도 균일성을 조절할 수 있다”고 설명했다.


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