테스(095610)는 기판처리장치의 RF접지 어셈블리에 관한 특허권을 취득했다고 14일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 RF저항에 의한 열발생을 방지할 수 있으므로 RF터미널의 손상을 안정적으로 방지할 수 있다”고 14일 공시했다.
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테스(095610)는 기판처리장치의 RF접지 어셈블리에 관한 특허권을 취득했다고 14일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 RF저항에 의한 열발생을 방지할 수 있으므로 RF터미널의 손상을 안정적으로 방지할 수 있다”고 14일 공시했다.
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