테스(095610)는 가스 분산판 및 이를 갖는 공정 챔버에 관한 특허권을 취득했다고 14일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 가스 분산판의 제조 시간을 단축하고 제조 비용을 절감할 수 있다”고 설명했다.


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