테스(095610)는 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 21일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 기판의 신속하고 균일한 가열, 기판의 신속한 이송 및 기판으로의 균일한 가스분사가 가능해져 우수한 품질의 기판을 높은 생산효율로 생산할 수 있는 이점이 있다”고 설명했다.


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