테스(095610)는 5일 건식식각장치 및 이를 구비한 기판처리시스템에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사측은 "HF 가스 및 NH3 가스가 혼합되는 과정에서 파우더가 발생하는 것이 방지되며, 그 결과 기판 상에 파티클이 형성되는 것을 방지할 수 있다"고 설명했다.


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