테스(095610)는 가스유압조절이 용이한 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 기판처리장치의 하드웨어를 변경하지 않고도 균등한 맵 데이터를 얻을 수 있고 하드웨어의 변경, 교체에 소요되는 비용과 시간을 절감할 수 있는 장점이 있다”고 설명했다.


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