테스(095610)는 플라즈마 발생용 전극에 관한 특허권을 취득했다고 19일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 전체적으로 균일한 플라즈마 분포를 구현할 수 있으며 증착 균일도를 보다 향상시킬 수 있다”고 설명했다.


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