원익IPS는 반도체 소자 제조 방법에 관한 특허권을 취득했다고 4일 공시했다. 회사측은 “반도체 제조 장치에 있어서, 서로 다른 유전율을 갖는 박막을 증착하는 방법에 관한 기술”이라고 설명했다.
jemmie@heraldcorp.com
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