로보스타는 웨이퍼 이송장비 및 이송방법에 관한 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.
회사측은 “웨이퍼의 위치를 인식하고 흡착하여 정해진 위치로 정확하게 정렬시킬 뿐만 아니라 웨이퍼들을 각각의 위치에 정렬시키는 과정에서 얇은 웨이퍼가 손상 또는 파손되는 것을 방지하는 기술”이라며 “제품에 특허기술을 적용해 성능개선 및 기능을 강화하고 반도체, 태양전지 생산공정에 활용할 계획”이라고 밝혔다.
jemmie@heraldcorp.com
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