SMEC는 더블암식 이단 카세트 이송로봇에 관한 특허권을 취득했다고 20일 공시했다.

회사측은 “지상에서 카세트를 운반하는 로봇과는 달리 천정에 레일과 주행대차를 설치하고 주행대차에 로봇을 설치하여 기판이 적재된 카세트를 공중에서 이송하는 로봇에 관한 것”이라고 설명했다.


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