참엔지니어링은 박막 패터닝 장치에 관한 특허권을 취득했다고 22일 공시했다.

회사측은 “기판에 형성된 박막에 패터닝시 박막이 손상되는 것을 방지해 박막 패터닝 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 박막 패터닝 장치에 관한 것”이라며 “본 특허를 활용할 경우 기판에 형성된 박막의 손상 및 기판이 처짐 등에 의한 변형을 방지하여 박막 패터닝 공정의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다”고 설명했다.

또, “본 특허기술을 활용해 평판디스플레이 장비의 경쟁력을 강화할 계획”이라고 밝혔다.


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