＜생생코스닥＞테스, 기판처리장치 특허 취득

테스는 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 6일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 히터블럭과 트레이의 열팽창 차이로 인해 기판이 히터블럭에서 이탈되는 것이 방지되므로 기판을 균일하게 가열할 수 있으며, 그 결과 우수한 품질로 기판을 처리할 수 있다”고 설명했다.