＜생생코스닥＞주성엔지니어링, 혼합형 플라즈마 발생 장치 등 2건의 특허권 취득

주성엔지니어링(036930)은 혼합형 플라즈마 발생 장치에 관한 특허권을 취득했다고 6일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 플라즈마를 발생시킴에 있어 유도성 및 용량성 특징을 겸비한 혼합형 플라즈마 발생장치에 관한 것”이라고 설명했다.

또한 반도체 제조용 가스 분사 장치에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 공정챔버 내부에서 가스를 균일하게 분사할 수 있는 반도체용 가스 분사장치에 관한 것”이라고 설명했다.

주성엔지니어링은 6일 600원(-2.95%) 떨어진 1만9750원으로 마감되었다.