테스(095610)는 로드락 챔버 및 이를 이용한 기판 처리 방법에 관한 특허권을 취득했다고 25일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 예열공간과 냉각공간을 동시에 갖고 다수개의 기판을 효율적으로 인입 및 인출시켜서 동시에 처리할 수 있는 로드락 챔버 및 이를 이용한 기판 처리 방법에 관한 것”이라고 설명했다.

테스는 25일 14시 31분 현재 450원(-2.08%) 떨어진 2만1200원에 거래되고 있다.


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