테스(095610)는 가스분사장치에 관한 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 박막의 증착균일도가 보장될 수 있고, 가스분사 플레이트와 기판 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있다는 장점이 있다”고 설명했다.
테스는 9일 14시 14분 현재 750원(-4.67%) 떨어진 1만5300원에 거래되고 있다.
test10043@heraldcorp.com
테스(095610)는 가스분사장치에 관한 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 박막의 증착균일도가 보장될 수 있고, 가스분사 플레이트와 기판 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있다는 장점이 있다”고 설명했다.
테스는 9일 14시 14분 현재 750원(-4.67%) 떨어진 1만5300원에 거래되고 있다.
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