＜생생코스닥＞테스, 마그네트론 스퍼터링 장치 특허권 취득

테스(095610)는 마그네트론 스퍼터링 장치에 관한 특허권을 취득했다고 20일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 복수의 챔버가 마그네트 어셈블리를 공유하므로 스퍼터링 장치의 구성이 간소화되고 그 제작비용이 감소되며 복수의 챔버에서 동시에 여러 개 또는 여러 종류의 기판을 스퍼터링할 수 있으므로, 생산성의 배가 또는 여러 종류의 박막 생성의 장점이 있으며 생성된 박막의 균일도를 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 타겟 사용 효율을 높일 수 있다”고 설명했다.

테스는 20일 14시 19분 현재 80원(1.32%) 오른 6130원에 거래되고 있다.

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