테스(095610)는 표면조도를 이용한 플라즈마 제어가 가능한 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 4일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 하부전극의 표면조도를 이용하여 기판상에 증착되는 막에 그림자 영역이 발생하지 않고 균등한 증착막을 형성하도록 플라즈마 분포를 제어할 수 있는 이점이 있다”고 설명했다.

테스는 4일 14시 27분 현재 330원(-6.08%) 떨어진 5100원에 거래되고 있다.


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