＜생생코스닥＞테스, 플라즈마 제어 기판처리장치 관련 특허권 취득

테스(095610)는 표면조도를 이용한 플라즈마 제어가 가능한 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 4일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 하부전극의 표면조도를 이용하여 기판상에 증착되는 막에 그림자 영역이 발생하지 않고 균등한 증착막을 형성하도록 플라즈마 분포를 제어할 수 있는 이점이 있다”고 설명했다.

테스는 4일 14시 27분 현재 330원(-6.08%) 떨어진 5100원에 거래되고 있다.

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