주성엔지니어링(036930)은 플라즈마 처리장치 및 처리방법에 관한 특허권을 취득했다고 10일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 공정챔버의 세정 주기를 연장시켜 생산성을 향상시킨 플라즈마 처리장치 및 처리방법에 관한 것”이라고 설명했다.
test10043@heraldcorp.com
주성엔지니어링(036930)은 플라즈마 처리장치 및 처리방법에 관한 특허권을 취득했다고 10일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 공정챔버의 세정 주기를 연장시켜 생산성을 향상시킨 플라즈마 처리장치 및 처리방법에 관한 것”이라고 설명했다.
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