원익IPS(030530)는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 특허권을 취득했다고 28일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 챔버에서 배출되는 반응 가스의 유속 및 챔버 압력을 용이하게 제어할 수 있는 기판 처리장치”라고 설명했다.
test10043@heraldcorp.com
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