테스(095610)는 기판 처리 장치 및 이의 배기 방법에 관한 특허권을 취득했다고 6일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 박막 증착시 측방 배기를 실시하여 우수한 증착 균일도를 실현할 수 있으며, 세정 공정시에는 하방 배기를 실시하여 높은 세정 효율을 달성할 수 있다”고 설명했다.


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