[헤럴드경제=박영훈 기자] 에스엔유프리시젼은 패턴의 결함 검사 방법에 관한 특허권을 취득했다고22일공시했다.

회사측은 “대면적화된 기판에 형성된 패턴에서 형성된 결함의 존재 여부 및 결함의 위치를 용이하게 검사할 수 있는 패턴의 결함 검사 방법에 관한 것”이라며 “디스플레이 제조장비 등에 활용할 계획”이라고 밝혔다.


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