테스는 기판 지지 유닛 및 이를 이용한 이송 로봇 티칭 방법에 관한 특허를 취득했다고 18일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 로딩위치 조정값에 따라 이송 로봇의 티칭값을 변경해 이송 로봇의 티칭과정에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다”고 설명했다.


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