원익IPS는 비정질탄소막 증착공정에서의 챔버 세정 장치 및 이를 이용한 챔버 세정 방법에 관한 특허권을 취득했다고 17일 공시했다.

회사측은 “챔버 내부로 별도의 분리된 경로를 통해 세정가스를 공급하여 챔버 내부 세정 효율을 향상시키는 것”이라며 “반도체 장비의 경쟁력을 강화할 계획”이라고 밝혔다.


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