＜생생코스닥＞테스, 기판 처리 장치 관련 특허 취득

테스는 플라즈마 발생 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 특허권을 취득했다고 21일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 대기압과 같은 높은 압력에서도 안정적인 방전이 가능해 라디칼을 이용한 기판 처리 공정이 용이한 장점이 있다”고 설명했다.