LIG에이디피는 막두께 측정장치 및 이를 구비한 증착장비(OLED용 패널 제조용 증착장비)에 대한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다. 회사측은 “증발원으로부터 증발하는 물질의 상태를 측정하여 막두께를 산출할 수 있도록 이루어진 막두께 측정기로서, OLED 패널 제조용 증착장비 관련한 특허이며 OLED 패널 제조용 증착장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 밝혔다.
test10043@heraldcorp.com
LIG에이디피는 막두께 측정장치 및 이를 구비한 증착장비(OLED용 패널 제조용 증착장비)에 대한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다. 회사측은 “증발원으로부터 증발하는 물질의 상태를 측정하여 막두께를 산출할 수 있도록 이루어진 막두께 측정기로서, OLED 패널 제조용 증착장비 관련한 특허이며 OLED 패널 제조용 증착장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 밝혔다.
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