테스는 시블 박막 태양전지의 가스차단장치에 관한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다. 회사측은 “이번 특허는 프로세스 챔버 내부의 공정 가스가 프로세스 챔버 외부로 유출되는 것을 안정적으로 방지할 수 있다”고 설명했다.
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테스는 시블 박막 태양전지의 가스차단장치에 관한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다. 회사측은 “이번 특허는 프로세스 챔버 내부의 공정 가스가 프로세스 챔버 외부로 유출되는 것을 안정적으로 방지할 수 있다”고 설명했다.
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