테스는 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 19일 공시했다. 회사측은 “이번 특허는 챔버로 공급되는 가스 흐름의 선형성이 유지되므로 처리되는 기판의 품질이 향상되는 장점이 있다”고 설명했다.
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테스는 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 19일 공시했다. 회사측은 “이번 특허는 챔버로 공급되는 가스 흐름의 선형성이 유지되므로 처리되는 기판의 품질이 향상되는 장점이 있다”고 설명했다.
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