로체시스템즈는 정전척 및 이를 갖는 기판 가공 장치에 관한 특허권을 취득했다고 31일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 반도체 장치에 적용될 예정”이라고 밝혔다.
test10043@heraldcorp.com
로체시스템즈는 정전척 및 이를 갖는 기판 가공 장치에 관한 특허권을 취득했다고 31일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 반도체 장치에 적용될 예정”이라고 밝혔다.
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