STS반도체통신은 포토레지스트 베이크 장치에 관한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.
회사측은 “반도체 범핑 공정의 핵심기술인 포토리소그래피 공정의 제조경쟁력을 극대화할 예정”이라고 밝혔다.
jemmie@heraldcorp.com
STS반도체통신은 포토레지스트 베이크 장치에 관한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.
회사측은 “반도체 범핑 공정의 핵심기술인 포토리소그래피 공정의 제조경쟁력을 극대화할 예정”이라고 밝혔다.
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